中國科學院化學研究所等離子體刻蝕機采購項目招標公告
所屬地區 | 北京 | 投標截止時間 | *** 登錄后查看 | 資質要求 | 注冊或登錄 后查看 |
開標時間 | 設置開標提醒 | 項目進展 | [正在報名] [購買會員服務] [代購標書] [中標監測] |
包號 | 1 |
貨物名稱 | 等離子體刻蝕機 |
數量(臺/套) | 1套 |
簡要規格描述 | *9、溫度范圍 -20°C ~ +250°C,溫度穩定性 ± 1ºC,背部氦氣壓力 500 — 1200 Pa *11、射頻功率源:偏置發生器13.56 MHz, 600 W, ICP 發生器,13.56 MHz, 1200 W; 或者2 MHz, 2500 W,應適應6’’均勻的基片 * 12、真空系統:渦輪分子泵, 抽速 2650 升/秒(氮氣) ,干泵抽速>600 立方米/小時 * 15、可配置激光終點檢測設備,用于終點檢測 *17、可根據實際需求進行8路或12路氣體配置 |
交貨期 | 合同簽訂后6個月內交貨 |
交貨地點 | 中國科學院化學研究所北京分子科學交叉研究平臺 |
保修期 | 自設備驗收通過之日起,12個月 |
是否允許采購進口產品 | 否 |
是否專門面向中小企業采購 | 非專門 |
采購預算(萬元) | 261 |
最高限價(萬元) | 261 |
聯系人:陳經理
電話:010-83551561
手機:13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱:kefu@gdtzb.com
QQ:1571675411
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