1. 招標條件
項目概況：甬江實驗室因發展需要，需采購氟化氫干式刻蝕機和二氟化氙干法刻蝕機。
資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。
  項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。
2. 招標內容：
招標項目名稱：甬江實驗室采購氟化氫干式刻蝕機和二氟化氙干法刻蝕機項目
項目實施地點：中國浙江
招標產品列表（主要設備）：

序號	貨物名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	氟化氫干式刻蝕機	1套	系統主要由控制系統、真空系統、工藝腔室、工藝氣體配送管路和控制系統、終點監控，電源控制系統等部件組成。	/
2	二氟化氙干法刻蝕機	1套	系統主要由控制系統、真空系統、工藝腔室、工藝氣體配送管路和控制系統、電源控制系統等部件組成。	/

3. 投標人資格要求
3.1特定資格條件：
3.1.1投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書；
3.2本項目不接受聯合體投標。
3.3未領購招標文件不可以參加投標。
4. 招標文件的獲取
招標文件領購開始時間：2023年12月18日，上午：8:30-11:30 ；下午：13:30-17:00。
招標文件領購結束時間：2023年12月25日17:00（北京時間）
5. 投標文件的遞交
5.1投標截止時間（開標時間）：2024年1月9日9時30分（北京時間）

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聯系人：陳經理
電話：010-83551561
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