預算金額：3500.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：3450.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

微納平臺采購步進式光刻機系統一套，主要技術要求如下：

1.樣品臺支持最大8寸晶圓，并向下兼容，可容納的基片最大厚度：650um~750um。

2.機臺分辨率200nm，套刻精度LSA 45nm、FIA 40nm。曝光波長248nm，最大曝光范圍25.0mm ×33.0mm。

3.設備包含照明系統，自動對準系統（晶圓、掩模及步進對準），版庫管理系統，晶圓自動傳輸系統，晶圓承載臺及調平系統，自動光量控制及自動調焦調平，內部溫度、壓力控制及氣體過濾系統，減震系統，自動軟件。

4.設備包含配套的自動勻膠顯影系統，包含勻膠單元兩個，顯影單元兩個，以及HMDS熱板、高溫熱板、低溫熱板、冷板等。

最高限價：人民幣3450萬元整（不含外貿代理費）

本項目接受進口產品。

本項目所屬行業：工業。

項目編號：0664-2360SUMEC751D-3（SEU-ZB-230697）

合同履行期限：境外產品：開具信用證后12個月內設備安裝調試合格。境內產品：自合同簽訂之日起180天內到貨并安裝調試合格。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

本項目若符合扶持福利企業、促進殘疾人就業、支持中小微企業、支持監獄和戒毒企業等政策， 將落實相關政策。

3.本項目的特定資格要求：（1）供應商必須是所投產品的制造商或代理商，若投標人不是投標產品制造商的，投標人必須具有下列授權文件之一（本條只適用于進口產品）：a.供應商必須提供制造商出具的授權函正本； b.制造商的國內全資子公司出具的授權函正本； c.制造商對授權的區域代理商出具的授權函復印件及該區域代理商出具的授權函正本； d.投標人取得的產品代理證書復印件(正本備查)。4.拒絕下述供應商參加本次采購活動：（1）供應商單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。（2）凡為采購項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加本項目的采購活動。（3）供應商被“信用中國”網站、“中國政府采購網"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。

三、獲取招標文件

時間：2024年03月15日  至 2024年03月21日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京時間，法定節假日除外）

四、提交投標文件截止時間、開標時間

提交投標文件截止時間：2024年04月09日 14點00分（北京時間）

開標時間：2024年04月09日 14點00分（北京時間）

本招標項目僅供正式會員查看，您的權限不能瀏覽詳細信息，請點擊注冊/登錄，聯系工作人員辦理入網升級。

聯系人：陳經理
電話：010-83551561
手機：13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411