1. 招標條件

項目概況：甬江實驗室因發展需要，需采購深硅刻蝕機1套、濕法厚膜沉積設備1套。

資金到位或資金來源落實情況：項目所需資金已經落實。

    項目已具備招標條件的說明：項目已具備招標條件。

2. 招標內容：

招標項目名稱：甬江實驗室采購深硅刻蝕機和濕法厚膜沉積設備項目（重招）

項目實施地點：中國浙江

招標產品列表（主要設備）：

序號	貨物名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	深硅刻蝕機	1套	真空系統：腔室極限真空≤0.1mTorr，腔室漏氣率≤2mTorr/min，控壓范圍至少包括5mTorr-500mTorr，控壓精度≤±0.1mTorr。	/
2	濕法厚膜沉積設備	1套	預處理模塊：配置預潤濕功能，電鍍前對晶圓表面及TSV深孔等進行有效潤濕并去除晶圓表面顆粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。	/

3. 投標人資格要求

3.1特定資格條件：

3.1.1投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書。

3.2本項目不接受聯合體投標。

3.3未領購招標文件不可以參加投標。

4. 招標文件的獲取

招標文件領購開始時間：2024年4月29日

招標文件領購結束時間：2024年5月9日

招標文件售價：每標段售價500元人民幣或80美元，售后不退[郵購須另加50元人民幣（國內）或40美元（國外）]。5. 投標文件的遞交

5.1投標截止時間（開標時間）：2024年5月22日14時00分（北京時間）

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聯系人：陳經理
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