高功率脈沖磁控濺射技術制備薄膜試驗(第1包)招標公告
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1.項目名稱:高功率脈沖磁控濺射技術制備薄膜試驗
2.項目編號:2024-JLZ
3.項目概況:
采購方項目組需要研究開發用于某類精密齒輪的高性能耐磨潤滑薄膜技術,項目組前期通過大量的基礎研究,已經獲得了性能相對優異的多組薄膜材料配比和典型工藝參數。為進行高性能、長壽命薄膜體系的最終篩選,需要采用可長時間連續穩定工作且單爐樣品裝載量較大的工業級高功率脈沖磁控濺射設備進行薄膜樣品/樣件的批量制備試驗。中標方需按照采購方預設的工藝參數、材料配比和樣品樣件數量要求進行試驗,最終需要交付的樣品/樣件類型和數量如下:
序號 |
鍍膜試驗條件 |
樣品基材 |
薄膜 厚度 |
數量合計 |
1 |
不同負偏壓條件下制備H-DLC薄膜(-80V/-100V/-120V/-140V/-160V,共5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
2 |
不同乙炔流量條件下制備H-DLC薄膜(60sccm/80sccm/100sccm/1200sccm/140sccm,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
3 |
不同B4C靶濺射功率條件下制備B4C-H-DLC?。˙4C靶功率,0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
4 |
不同Ti靶濺射功率條件下制備Ti-H-DLC薄膜(Ti靶功率,0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
5 |
不同Pb靶濺射功率條件下制備Pb-H-DLC薄膜(Pb靶功率,0.5W/1.0W/1.5W/2.0W/2.5W共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
6 |
不同Pb靶濺射功率條件下制備Ti-Pb-H-DLC薄膜(Ti靶功率固定,Pb靶功率為1.0W/1.2W/1.4W/1.6W/1.8W,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
17齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
||
21齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
||
7 |
不同B4C靶濺射功率條件下制備Ti-B4C-H-DLC薄膜(Ti靶功率固定,B4C靶功率分別為1.2W/1.4W/1.6W/1.8W /2.0W,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
17齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
||
21齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
||
8 |
不同調制周期下Ti-B4C-H-DLC薄膜/Ti-Pb-H-DLC薄膜制備(調制周期分別為8/10/12/16/20,共計5爐試驗) |
單晶Si片 |
1.5~2 μm |
10 |
2Cr13圓片 |
1.5~2 μm |
60 |
||
17齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
||
21齒數精密齒輪 |
1.5~2 μm |
20 |
根據以上試驗計劃,中標方需依據采購方試驗參數進行薄膜制備試驗共40爐次,需交付合格的樣品/件數量不少于:單晶Si片80片,2Cr13圓片480片,17齒數精密齒輪60個,21齒數精密齒輪60個。
4.采購項目預算及最高限價:18萬元。
二、供應商資格條件
(一)符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條資格條件:
1.具有獨立承擔民事責任的能力;
2.具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度;(書面聲明)
3.具有履行合同所必需的專業能力;(書面承諾)
4.具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄;(書面聲明)
5.參加本次采購活動前3年內,在經營活動中沒有重大違法記錄;(書面承諾)
6.法律、行政法規規定的其他條件。
(二)國有企業;事業單位;軍隊單位;成立三年以上的非外資控股企業。(書面承諾)
(三)單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商,不得同時參加同一包的采購活動。生產型企業的生產場經營地址或者注冊登記地址為同一地址的,非國有銷售型企業的股東和管理人員(法定代表人、董事、監事)之間存在近親屬、相互占股等關聯的,也不得同時參加同一包的采購活動。近親屬指夫妻、直系血親、三代以內旁系血親或近姻親關系。(書面承諾)
(四)未被列入政府采購失信名單、軍隊供應商暫停名單,未在軍隊采購失信名單禁入處罰期內,未被“信用中國”網站列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人。(書面承諾)
(五)本項目不接受聯合體投標。
三、采購文件申領時間、地點、方式
(一)申領時間:2024年7月5日至2024年7月8日,每日上午8:30至11:30,下午15:00至17:00(北京時間,法定休假日除外)。
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聯系人:陳經理
電話:010-83551561
手機:13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱:kefu@gdtzb.com
QQ:1571675411
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