1、招標條件
項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機各1套。
資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。
2、招標內容
招標項目編號:076
招標項目名稱:甬江實驗室采購半自動槽式SPM清洗機等五項設備項目
項目實施地點:中國浙江省
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	半自動槽式SPM清洗機	1套	高溫SPM工藝主要用刻蝕以及離子注入之后的有機物清洗。
2	半自動槽式有機清洗設備	1套	主要用于金屬刻蝕或其他器件干法刻蝕后光刻膠的去除或清洗工藝。
3	手動片盒清洗機	1套	對所使用的晶圓片盒進行定期清洗。
4	半自動槽式KOH刻蝕機	1套	常用于硅片表面V型槽刻蝕、金字塔或者倒金字塔結構刻蝕等應用。
5	半自動槽式BOE刻蝕機	1套	主要用于半導體器件制造過程中的SiO2 濕法刻蝕以及清洗工藝。

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品（半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機）的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2024-10-24
招標文件領購結束時間:2024-10-31
招標文件售價:￥500/$80

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聯系人：陳經理
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