甬江實驗室采購半自動槽式SPM清洗機等五項設備項目國際招標公告
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項目概況:甬江實驗室因發展需要,需采購半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機各1套。
資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。
2. 招標內容:
招標項目編號:0762-
招標項目名稱:甬江實驗室采購半自動槽式SPM清洗機等五項設備項目
項目實施地點:中國浙江
招標產品列表(主要設備):
序號 |
貨物名稱 |
數量 |
簡要技術規格 |
備注 |
1 |
半自動槽式SPM清洗機 |
1套 |
高溫SPM工藝主要用刻蝕以及離子注入之后的有機物清洗。 |
/ |
2 |
半自動槽式有機清洗設備 |
1套 |
主要用于金屬刻蝕或其他器件干法刻蝕后光刻膠的去除或清洗工藝。 |
/ |
3 |
手動片盒清洗機 |
1套 |
對所使用的晶圓片盒進行定期清洗。 |
/ |
4 |
半自動槽式KOH刻蝕機 |
1套 |
常用于硅片表面V型槽刻蝕、金字塔或者倒金字塔結構刻蝕等應用。 |
/ |
5 |
半自動槽式BOE刻蝕機 |
1套 |
主要用于半導體器件制造過程中的SiO2 濕法刻蝕以及清洗工藝。 |
/ |
*備注:投標人必須對表中所有貨物進行投標,否則作無效標處理。
3. 投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品(半自動槽式SPM清洗機、半自動槽式有機清洗設備、手動片盒清洗機、半自動槽式KOH刻蝕機、半自動槽式BOE刻蝕機)的制造商或投標產品的制造商授權的代理商,如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書;
是否接受聯合體投標:不接受;
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以。
4. 招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2024年10月24日
招標文件領購結束時間:2024年10月31日
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聯系人:陳經理
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