1.1 貨物名稱：深硅刻蝕機

1.2 招標編號：077

1.3設備技術要求：

1)設備配有1套深硅刻蝕工藝腔室，主要包括主機、加熱系統、冷卻系統、真空系統、靜電吸盤、手臂傳輸腔室、射頻源等;

2)適用工藝類型:硅-玻璃鍵合片和硅片刻蝕；

3)適用晶圓尺寸:4英寸晶圓;

4)夾具類型:4英寸靜電吸盤及傳輸手臂;

5)硅-玻璃鍵合片(硅結構有背腔)，在暴露面積≥30%時，刻蝕后表面干凈，無“掉渣”及“長草”現象;

6)工控系統基于 Windows7 及以下版本的操作系統；

7) 硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm。

1.4 數量：1臺

1.5 交貨期：合同簽訂后12個月內

1.6 項目現場：山西省

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業登記等許可經營的證明文件。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商應獲得制造商的有效授權，須提供正本（制造商的有效授權書包括制造商直接開具的；或制造商在中華人民共和國關境內的獨資公司開具的；或經制造商授權并允許其再授權的單位開具的）。

2.3本次招標不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。

3. 招標文件獲取

3.1凡有意參加投標者，請于2024年11月21日至2024年11月28日17時(北京時間)，(登錄后查看)下載招標文件。

3.2 招標文件每套售價人民幣800元，售后不退。

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2024年12月12日09時30分。

本招標項目僅供正式會員查看，您的權限不能瀏覽詳細信息，請點擊注冊/登錄，聯系工作人員辦理入網升級。

聯系人：陳經理
電話：010-83551561
手機：13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
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