項目名稱：華南理工大學自動旋涂烘干顯影一體機及多晶硅刻蝕機

預算金額：734.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：734.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

序號	標的名稱	數量 （單位）	簡要技術需求或服務要求 （具體詳見采購需求）	單價最高限價 （萬元/人民幣）
1	自動旋涂烘干顯影一體機	1（套）	與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備，涂膠顯影設備的功能是將光刻膠均勻涂布在晶圓表面，經過加熱將光刻機固化，通過冷板模塊將晶圓冷卻再放回晶圓盒。然后到光刻機曝光，曝光完后進入顯影機中通過顯影液的作用將光刻的圖形顯現出來，從而實現在晶圓表面制作線路圖形的目的。具體詳見采購需求。	434
2	多晶硅刻蝕機	1（臺）	應用與作用包括集成電路制造、微機電系統（MEMS）加工、高精度刻蝕與控制等，多晶硅刻蝕機采用等離子體刻蝕等技術，能夠精確控制刻蝕深度、側壁角度以及刻蝕的選擇性，從而實現高精度的加工，減少邊緣粗糙度，提升器件的性能和一致性。具體詳見采購需求。	300

經政府采購管理部門同意，本項目（多晶硅刻蝕機）允許采購本國產品或不屬于國家法律法規政策明確規定限制的進口產品，具體詳見采購需求。

本項目采購標的所屬行業為：工業

合同履行期限：自動旋涂烘干顯影一體機：在合同簽訂后60天內完成供貨、安裝和調試并交付采購人使用。多晶硅刻蝕機：境內貨物：在合同簽訂后（30）天內完成供貨、安裝和調試并交付采購人使用；境外貨物（可辦理免稅）：收到信用證后（300）天內完成供貨、安裝和調試并交付采購人使用。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

無。本項目不屬于專門面向中小企業采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：（1）應具備《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定的條件，提供以下材料：①具有獨立承擔民事責任的能力：提供在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織的營業執照或事業單位法人證書或社會團體法人登記證書復印件，如投標人為自然人的提供自然人身份證明復印件；如國家另有規定的，則從其規定。（分公司投標，須取得具有法人資格的總公司（總所）出具給分公司的授權書，并提供總公司（總所）和分公司的營業執照（執業許可證）復印件。已由總公司（總所）授權的，總公司（總所）取得的相關資質證書對分公司有效，法律法規或者行業另有規定的除外）②具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度：提供按照招標文件的格式簽署蓋章的《資格聲明函》。③有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄：提供按照招標文件的格式簽署蓋章的《資格聲明函》。④具有履行合同所必須的設備和專業技術能力：提供按照招標文件的格式簽署蓋章的《資格聲明函》。⑤參加采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄：提供按照招標文件的格式簽署蓋章的《資格聲明函》。重大違法記錄，是指投標人因違法經營受到刑事處罰或者責令停產停業、吊銷許可證或者執照、較大數額罰款等行政處罰。（根據財庫〔2022〕3 號文，較大數額罰款認定為200萬元以上的罰款，法律、行政法規以及國務院有關部門明確規定相關領域“較大數額罰款”標準高于200萬元的，從其規定 。）（2）信用記錄：投標人未被列入“信用中國”網站“失信被執行人或重大稅收違法失信主體或政府采購嚴重違法失信行為記錄名單”；不處于“中國政府采購網”(www.ccgp.gov.cn)“政府采購嚴重違法失信行為信息記錄”中的禁止參加政府采購活動期間，若投標人具有分公司的，其所屬分公司有上述不良信用記錄的，視同該投標人存在不良信用記錄。若投標人為分公司的，其所屬總公司（總所）存在上述不良信用記錄的，視同該分公司存在不良信用記錄。（以招標代理機構于評標當天在“信用中國”網站及“中國政府采購網”（http://www.ccgp.gov.cn/）查詢結果為準，如相關失信記錄已失效，投標人需提供相關證明資料）。（3）投標人必須符合法律、行政法規規定的其他條件：單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得同時參加本采購項目（或同一合同項下）投標。為本項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的投標人，不得再參與本項目投標。（提供按照招標文件的格式簽署蓋章的《資格聲明函》）。（4）本項目（不接受）聯合體投標。（5）本項目不接受中標備選方案。

三、獲取招標文件

時間：2024年11月29日  至 2024年12月06日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:30。（北京時間，法定節假日除外）

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聯系人：陳經理
電話：010-83551561
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