一、項目基本情況

項目名稱：zycgr24041501電感耦合增強原子層沉積系統和原子層沉積系統采購項目

預算金額：520.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：520.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

1、采購項目的名稱、數量：

包號	品目	貨物 名稱	數量	用途	是否允許采購進口產品	采購 預算 (萬元)
1	品目1	電感耦合增強原子層沉積系統	1套	用于超材料的氮化物、金屬等功能薄膜材料制備和深寬比結構填充等，采用遠程ICP電感耦合等離子體增強的原子層沉積方法，可以在同一個制程工藝中等離子體法和熱法生長任意切換，制備出超薄、均勻性好、致密性高的原子尺度的納米薄膜，從而實現超材料表面和微納結構表面上高質量薄膜的精細調控。	是	360
	品目2	原子層沉積系統	1套	用于超材料的在硅片及微納光學基片Pattern上熱法制備和填充氧化鋁，氧化鈦及鈦鋁氧摻雜等High-K介電薄膜，從而實現微納結構表面的精細調控，對超表面微納器件的發展具有舉足輕重的作用，同時可以促進材料科學、物理學、微納光學等領域的交叉研究與創新。	是	160

注：投標人須以包為單位對包中全部內容進行投標，不得拆分、轉包、分包，評標、授標以包為單位。具體技術要求詳見招標公告所附附件（即，本招標文件第五章）。

2、技術要求詳見公告附件。

合同履行期限：合同簽訂后6個月內。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

本項目不屬于專門面向中小微企業、監獄企業、殘疾人福利性單位采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：1）投標人須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條的規定；(具體為供應商參加政府采購活動應當具備下列條件：（一）具有獨立承擔民事責任的能力；（二）具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；（三）具有履行合同所必需的設備和專業技術能力；（四）有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；（五）參加政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法記錄；（六）法律、行政法規規定的其他條件。2）投標人須在中華人民共和國境內合法注冊、有法人資格并符合工商局或相關行業主管部門核準的經營范圍或經營許可(進口產品投標必須委托國內代理商投標)；3）代理商投標必須有制造廠家授權（僅針對允許采購進口產品并且是進口產品投標的產品）；4）投標人按照招標公告要求購買了招標文件；5）投標人不得為招標人或招標代理機構的附屬或相關機構；6）投標人不得為列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商。7）為本項目提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得參加本項目投標；8）投標單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動；9）本項目不接受聯合體投標。

三、獲取招標文件

時間：2025年01月17日  至 2025年01月24日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京時間，法定節假日除外）……

售價：￥600.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

本招標項目僅供正式會員查看，您的權限不能瀏覽詳細信息，請點擊注冊/登錄，聯系工作人員辦理入網升級。

聯系人：陳經理
電話：010-83551561
手機：13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411