一、項目名稱：蜂巢傳動科技河北有限公司模組封裝項目一期掃描電子顯微鏡&X射線能譜儀
二、項目概況與招標范圍

本次招標采購主要內容為掃描電子顯微鏡&X射線能譜儀共一套，滿足模組檢驗需求。

三、技術要求

掃描電子顯微鏡 1套：

1.主機；

2.電子槍類型：熱場發射電子槍；

3.探測器： 鏡筒內二次電子探測器、樣品室二次電子探測器、背散射電子探測器、紅外CCD/導航；

4.分辨率1: 30kv SE對應分辨率達到或優于 1.2nm;或者15kv SE對應分辨達到或優于1.0nm;分辨率2： 1kv SE對應分辨率優于1.6 nm；

5.電壓：達到或優于0.02KV-30kV；

6.束流：達到或優于20nA；

7.物鏡光闌：孔徑數量不少于4孔；

8.載物臺：樣品臺驅動：5軸馬達驅動、X軸: 大于或等于100mm、Y軸: 大于或等于100mm、Z軸：大于或等于 50mm； 旋轉角度：可連續調360度 傾斜角度：大于或等于0~90度 承重：5Kg 樣品倉承裝樣品尺寸：直徑大于等于 200mm 高度大于等于 80mm；

9.低真空模式：能優于500Pa；

10.磁性要求： 不漏磁，可測磁性材料；

11.其他參數要求：軟件滿足測量的基本幾何元素包含：線、角；文件類型：TIFF、JPEG 或 BMP； PC操作主機：操作系統WIN10、鍵盤、光學鼠標，64 位圖形用戶界面24英寸 LCD 顯示屏、多功能控制板、單幀圖像最大存儲分辨率: 優于30K*20K。

X射線能譜儀 1套：

1.進口品牌能譜儀；

2、探測器：分析型SDD硅漂移電制冷探測器 元素分析范圍：大于或等于B5~Cf98 晶體有效面積：30mm2 能量分辨率：Mn、 Ka保證優于129eV(@計數率100,000cps);能量分辨率符合 ISO15632:2012標準支持線掃描、點掃描以及面掃描；UPS電源：可支持供電2小時。

否決項

1.品牌： 要求進口品牌；

2.市場占有率： 要求場發射掃描電子顯微鏡國內市場占有率不低于25%。

四、供應商資質要求

1.投標方必須具備該設備制作或銷售資格；

2.投標方在區長三角域具備完善的售后服務體系，配備專業的安裝調試人員，售后服務維修人員。

五、業績要求（報名業績作為報名審核，投標書中應包含且不限于報名業績）

提供近5年在功率半導體模塊或汽車零部件合作業績，提供合同首末頁。

六、報名要求

1.報名方式 (登錄后查看)

2.報名截止時間：2023年01月07日 23:00

聯系人：陳經理
電話：010-83551561
手機：13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411