1、招標條件 項目概況:該設備主要用于刻蝕石墨烯、六方氮化硼過渡金屬硫族化物等二維材料，這是加工二維器件的一個必要步驟。該設備也用于刻蝕其它材料，比如碳納米管、石墨烯納米帶、氧化硅、硅等。
資金到位或資金來源落實情況:已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:1069-234Z20230500/03
招標項目名稱:上海交通大學反應離子刻蝕機采購項目
項目實施地點:中國上海市
招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	反應離子刻蝕機	1臺	工藝氣體至少包含5路：O2,？Ar,？CF4，CHF3，SF6；RF射頻電源功率不小于300W；	/

3、投標人資格要求

投標人應具備的資格或業績:3.1投標人或制造商（如適用）有效的營業執照
3.2本次招標所涉及到的產品若非自主研發生產，投標人須提供制造商針對本項目的授權書
3.3參加本次招標活動前3年內，投標人在經營活動中沒有違法記錄，無利用不正當競爭手段騙取中標，無行賄犯罪記錄；
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2023-02-23
招標文件領購結束時間:2023-03-02
招標文件售價:￥500/$80

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聯系人：陳經理
電話：010-83551561
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