宜興中車時代半導體有限公司芯片量測設備項目國際(1)招標公告
所屬地區 | 北京 | 投標截止時間 | *** 登錄后查看 | 資質要求 | 注冊或登錄 后查看 |
開標時間 | 設置開標提醒 | 項目進展 | [正在報名] [購買會員服務] [代購標書] [中標監測] |
序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
1 | DFI缺陷檢測設備 | 2臺 | 該設備可用于半導體功率器件200mm有圖形晶圓制造過程中的全自動缺陷檢測(暗場)。 | 其他詳見技術規格書?!锉颈碇兴性O備不分包。所有設備不得拆分投標。 |
2 | SEM review | 1臺 | 該設備可用于半導體功率器件200mm有圖形晶圓制造過程中的全自動缺陷觀察。 | |
3 | AOI | 2臺 | 用于8英寸IGBT芯片制造過程中的全自動缺陷檢測 | |
4 | 顆粒儀 | 2臺 | 該設備需要配置完整的傳送系統和量測系統,用于晶圓表面顆粒檢測。 | |
5 | 膜厚儀 | 2臺 | 完整的全自動膜厚測量系統,需滿足下文工藝需求所要求的技術條件,該測量系統用于無損自動測量IGBT和FRD硅片上膜層(多晶,氧化層,Nitride,BPSG,光刻膠等)的膜層厚度、折射率n、消光系數k。 | |
6 | Overlay(包含光刻工藝仿真軟件) | 1臺 | 該機臺需要配置完整的傳送系統和量測系統用于測量套刻精度。該設備可用于IGBT和FRD硅片的套刻精度測量。 |
聯系人:陳經理
電話:010-83551561
手機:13717815020 (歡迎撥打手機/微信同號)
郵箱:kefu@gdtzb.com
QQ:1571675411
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